乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司
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乐孜是由在日本东证一部上市并从事半导体晶圆传输37年经验的RORZE Corporation在中国设立的全资子公司,专门从事半导体晶圆传输系统的制造、销售、研发与售后维修。 公司总部RORZE CORPORATION自1985年成立以来一直专注于晶圆传输机器人及相关自动传输用的组件和大型自动传输设备的研发、制造和销售业务。掌握晶圆传输所需要的robot,load port及Aligner这些组件从软件到硬件的核心技术。公司创始人崎谷文雄先生发明了世界上***款洁净传输机器人,自此大大提升了芯片制造过程的良率,由此RORZE的产品在业界得到广泛的好评。目前RORZE产品大量应用在业界最**的3nm制程的产线上。项目主要产品:晶圆自动传输设备,该设备广泛应用于集成电路生产线上用于晶圆的自动传输,根据具体应用,可单独使用,亦可跟工厂自动化对接实现晶圆的上下料自动传输,还可跟刻蚀,CVD,PVD,光刻,检测等各种制程设备搭载使用。
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